引用于 爱芯网 论坛 在 2025年3月5日, 上午3:09

以下是全球前十大光刻机生产厂家名单（按市场影响力排名）：

1. ASML（阿斯麦）（荷兰）

• 全球唯一的EUV（极紫外光刻机）供应商，占据高端光刻机市场的主导地位。
• 主要客户：台积电、三星、英特尔等。

2. Nikon（尼康）（日本）

• 主要生产ArF（氟化氩）、KrF（氟化氪）等DUV（深紫外）光刻机，市场份额位列全球第二。
• 主要客户：日本半导体制造商、Intel等。

3. Canon（佳能）（日本）

• 主要生产i-line、KrF等中低端光刻机，专注于成熟制程市场（如MEMS、功率半导体）。
• 主要客户：功率半导体、传感器、显示面板厂商。

4. 上海微电子装备（SMEE）（中国）

• 中国本土唯一的光刻机制造商，主要生产用于IC制造的90nm及以上制程光刻机，以及面向面板制造、先进封装的光刻设备。
• 主要客户：中国半导体制造商。

5. Ultratech（已被Veeco收购，美国）

• 主要生产先进封装和MEMS光刻机，在亚太地区市场占有较大份额。
• 主要客户：封装厂商、LED和MEMS制造商。

6. EV Group（EVG，奥地利）

• 主要提供用于晶圆级封装（WLP）和MEMS制造的光刻技术，如纳米压印光刻（NIL）。
• 主要客户：半导体和先进封装厂商。

7. SUSS MicroTec（德国）

• 主要生产实验室级和工业级光刻机，专注于MEMS、微流体、生物传感等领域。
• 主要客户：科研机构、MEMS厂商。

8. Rudolph Technologies（已并入Onto Innovation，美国）

• 主要生产先进封装和显示面板光刻设备，在封装和检测设备领域有较强竞争力。
• 主要客户：晶圆厂、封装厂。

9. NuFlare Technology（日本，已被东芝收购）

• 主要生产电子束光刻机（E-Beam Lithography），用于掩模制造和先进芯片研发。
• 主要客户：半导体掩模厂、科研机构。

10. JEOL（日本）

• 主要生产电子束光刻设备，专注于科研和小批量生产领域。
• 主要客户：科研机构、大学实验室。

ASML、Nikon、Canon是目前全球光刻机市场的三大主要供应商，其中ASML凭借EUV光刻机的技术垄断地位占据行业领先地位，而其他公司则主要聚焦于特定市场（如先进封装、MEMS、电子束光刻等）。