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目录 Category: MEMS/NEMS

MEMS:Micro-Electro-Mechanical Systems(微机电系统), MEMS 是指在微米尺度上构建的电机和机械系统; NEMS:Nano-Electro-Mechanical Systems(纳机电系统)- NEMS 是在纳米尺度上构建的电机和机械系统,是 MEMS 的一个延伸。NEMS 通常具有更高的灵敏度、更小的尺寸和能耗,能够在非常微小的尺度上操作。