MEMS 微泵简介（用于医疗）
微泵是一种通过MEMS技术制造的微型泵装置，用于精确输送微小液体或气体量，广泛用于医疗设备中，如药物输送、胰岛素泵、微流控芯片、可穿戴注射器等。
常见微泵类型（按驱动方式分类）
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压电式微泵
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驱动方式：压电陶瓷或压电膜振动驱动流体
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特点：响应快、控制精度高
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应用：药液注射、点滴输送
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电热式微泵（热气泡）
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驱动方式：热元件加热产生气泡推动液体
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特点：适合低流速场景、结构简单
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应用：喷墨打印头、微量输送
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电静力驱动微泵
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驱动方式：电极吸引推动柔性膜片
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特点：功耗低，但推力有限
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应用：微型实验芯片
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电磁微泵
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驱动方式：磁场驱动膜片
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特点：结构复杂但流量可观
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应用：需要较大输送力的系统
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离心式微泵（或旋转式）
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驱动方式：叶轮旋转
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特点：适用于连续液体流动
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应用：实验室芯片、分析仪器
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典型应用场景
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可穿戴胰岛素泵（如Medtronic等产品）
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智能输液设备
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微针药物输送器
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微流控实验室芯片（Lab-on-a-chip）
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生物传感器流体系统
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血液或体液采样系统
全球主要微泵厂商（医疗相关）
1. Bartels Mikrotechnik GmbH（德国）
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产品：mp6 微泵系列（压电式）
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特点：高集成、高稳定性，广泛用于药物输送、生物实验
2. Dolomite Microfluidics（Blacktrace Holdings, 英国）
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产品：多种微流控泵模块（蠕动泵、压力泵）
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特点：适用于精准微流控系统、生物实验室芯片
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应用：PCR、细胞实验、医学检测
3. TTP Ventus（英国）
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产品：Disc Pump（无接触、低噪音）
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特点：极低振动、适用于可穿戴设备、呼吸机、医疗传感器
4. Sensile Medical (Switzerland)（已被Gerresheimer收购）
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产品：用于可穿戴药物输送系统的微泵模块
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特点：高安全级别、高精度连续泵送，用于糖尿病、帕金森药物输送
5. Debiotech（瑞士）
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产品：便携式 MEMS 微泵用于胰岛素输送
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特点：高精度、安全、便携，MEMS结构微型化
6. The Lee Company（美国）
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产品：微型精密液体控制元件，包括微泵、微阀等
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特点：航空医疗级精度，广泛用于实验设备和医疗器械
中国及亚洲部分代表厂商
1. Xuanlin Tech（璇林微泵，江苏）
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产品：多种医疗级微型隔膜泵、压电微泵
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应用：PCR检测仪、采血装置、微流控系统
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特色：已实现国产替代部分进口件
2. MEMSensing（敏芯微电子，苏州）
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产品：MEMS结构中的气泵控制模组（配合微气体检测）
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应用：气体采样、呼吸检测设备
3. Goertek（歌尔股份）
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可能具备微流控MEMS封装和微泵平台能力（未大规模对外公开销售）
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应用方向主要偏消费电子、健康穿戴设备
六、参考设计资源
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一些微泵厂商如 Bartels、TTP Ventus 提供评估板和开发套件（含驱动电路），方便快速集成测试
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适用于 Arduino、STM32 等微控制器平台，便于原型验证
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厂商通常还提供 CFD 模拟支持、流量校准服务