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致动器类 MEMS 产品清单
#1 · 2025年4月18日, 上午11:48
1. 微型扬声器 / 麦克风（音频类 MEMS）
| 类型 | 产品 | 应用 |
|---|---|---|
| MEMS 麦克风 | Knowles SPH0645、Infineon IM69D | 手机、笔记本、智能音箱 |
| MEMS 扬声器 | USound MEMS speakers | TWS耳机、助听器 |
#2 · 2025年4月18日, 上午11:49
2. 镜头与显示驱动器
| 类型 | 产品示例 | 应用 |
|---|---|---|
| MEMS 光学扫描镜（Galvo） | Mirrorcle Tech MEMS mirror | 激光投影、LiDAR |
| MEMS 变焦镜头 | ST VL6180 系列 | 智能手机摄像头 |
| MEMS 微投影（Pico Projector） | TI DLP Pico MEMS 芯片 | 微型投影仪、AR设备 |
#3 · 2025年4月18日, 上午11:50
3. 射流/压力致动器
| 类型 | 应用 | 举例 |
|---|---|---|
| 喷墨打印头 | HP、Epson打印机 | 热泡式或压电MEMS喷嘴 |
| 微泵（Micropump） | 药物输送、实验室 | MEMS驱动液体/气体 |